擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器是目前市場上主流的壓力變送器，擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器在水處理、液壓系統(tǒng)、暖通行業(yè)、自動化領(lǐng)域、石油化工、醫(yī)療、食品、環(huán)保行業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用。長期以來的市場運(yùn)用驗證了擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器的性能。

　　擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器是利用了硅晶圓的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用硅晶圓片為壓力變送器的彈性元件，然后在硅晶圓膜片上應(yīng)用集成電路的工藝，在硅晶圓的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，硅晶圓片置于壓力變送器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時，硅晶圓發(fā)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。

　　當(dāng)力作用擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形，使載流子從一個能谷向另一個能谷散射，引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)與金屬的應(yīng)變計不同，硅的電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，金屬電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化，而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。

　　擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器?針對特殊的工況環(huán)境還會細(xì)分出不同的型號，用于特定現(xiàn)場的壓力測量。例如防爆型、高溫型、抗沖擊型、防水型、還有用于石油化工行業(yè)的由壬型擴(kuò)散硅壓阻式壓力變送器等。

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